本报讯（记者刘志达）清华大学微电子研究所与荷兰ASML特种应用公司2月26日签订了开展联合应用研究项目的意向书。合作内容包括ASML向清华大学微电子所赠送两台Stepper光刻机；在双方共同感兴趣领域内开展应用项目的合作研究，如新型半导体材料、存储器、MEMS器件研究；利用先进的光刻机开展工艺和设备方面的高级工程技术人员培训等。
清华大学微电子研究所作为国家重点支持的微电子科学技术研究单位，承担着多项国家重要科研任务，多年来在集成电路工艺、VLSI设计和各种新型器件包括传感器、MEMS器件等方面的研究中取得了丰硕的成果，在科研水平和人才培养等方面居于国内领先地位，是国际上大型高技术企业的理想合作伙伴。荷兰ASML公司是集成电路关键设备——光刻机的生产制造厂商，其技术水平和市场份额在国际上排名第一，拥有推动集成电路工艺技术不断向更微小尺寸发展的先进技术。
双方这一合作不但会进一步提高清华大学微电子所的研究技术水平和ASML在中国的影响，还会对我国的IC设备特别是光刻设备的研究开发起到积极推动作用。ASML副总裁Hoeberichts表示，ASML的成功在于其重视技术开发与合作，与清华的合作是其在中国的第一个合作研究项目，在未来这一合作将会进一步扩大。
科技部、信息产业部有关部门的负责人会见了Hoeberichts一行，并与他们就在集成电路设备研究与开发领域的进一步合作进行了洽谈。
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